Die AMAT-Kammern vom Typ Mark2, MxP, MxP+, aber auch Kammern für die Centura-Kammern vom Typ DPS und DPN sowie Wolframrückätzen werden OEM-seitig mit Polyimid-ESCs betrieben. Die Keramik-ESCs (CESCs) von CE-MAT steigern dabei die Leistungsfähigkeit dieser Kammern im Vergleich zum Einsatz von Polyimid-ESCs erheblich. Bei den OEM-ESCs für das Wolframrückätzen sind zudem die Rückseitenkontakte nicht aus einem Teil gefertigt, sondern es handelt sich um vielteilige Zusammenbauten, die ein zusätzliches Prozessrisiko hinsichtlich der elektrischen Funktion dieser ESCs darstellen. Bei den Keramik-ESCs von CE-MAT ist diese Schwachstelle eliminiert.

AMAT ESCs – Polyimide – P500 / MarkII, MxP, MxP+

8″ 0010-10327, 0010-10528,
0010-10257
0040-99964, 0040-99949
0040-99997, 0040-09797
0090-35688, 0041-37391
0041-34688, 0041-11052
6″ 0010-10982, 0010-10529,
0040-99952, 0040-09942,
0040-99996, 0041-34851
0020-30218
4″ 0430-02271

AMAT ESCs – Polyimide – Centura 5200

8″ 0010-10202, 0040-99998
6″ 0010-10204

Bei den AMAT-ESCs für die neueren DPS-Kammern (DPS+, metal und poly etch), sowie den SuperE- und Emax-Kammern handelt es sich häufig um „Johnsen-Rahbek-ESCs“ mit auf die Grundkörper aufgeklebten keramischen Pucks als Funktionsfläche oder um mehrteilige Zusammenbauten mit keramischer Funktionsfläche aus AlN. Infolge von Oberflächenveränderungen kann es bei diesen ESCs zu Wafersticking und Waferjumping mit daraus folgenden Performanceeinbußen kommen

Im Unterschied zu den keramischen Johnsen Rahbek ESCs vom OEM handelt es sich bei den ESCs von CE-MAT um einteilige Coulomb-ESCs mit einer Funktionsfläche aus hochreinem Al2O3. Dies führt zu deutlichen Performanceverbessungen. Da die CE-MAT ECSs maßlich und funktionell perfekt auf die OEM Kathode passen, sind keine Prozessanpassungen notwendig.

Amat DPS+ Metal & Poly 8″

Poly 0010-15668, 0010-93181
Metal 0010-15452

Amat DPS+ Metal & Poly 8″

8″ 0040-77771, 0040-99957,
0040-99999, 0090-35133,
0041-33300, 0020-39087
6″ 0040-35869
0040-99959, 0040-99961

Prozesskammern der AMAT Ultima Anlagen für HDP-CVD sind mit keramischen ESCs, den sog. Lased Pedestals ausgestattet. Elektrische Durchschläge insbesondere an den Kanten der Bohrungen für die Gasversorgung reduzieren die Performance der Kammern. CE-MAT liefert CESCs, die perfekt auf die OEM Kathode abgestimmt sind. Verbessertes Design und hochreines Keramikmaterial in Kombination mit optimierter Beschichtungstechnik erhöht die Uniformity des Abscheidung und verlängert die Standzeit der ESCs.