Anlagen von Lam Research des Tys Rainbow 4420, Alliance und TCP sind gewöhnlich mit bipolaren ESCs ausgestattet, den sog. „Donut and Base ESCs“. Diese ESCs werden als keramische ESCs bezeichnet, wobei die Funktionsfläche hartanodisiert ist. D. h. der Grundkörper und der eingeklebte Ring sind hartanodisierte Aluminiumteile.

Die elektrische Isolierung zwischen dem anodisierten Grundkörper als Elektrode einer Polarität und dem Einlegering als entgegengesetzte Polarität wird nur durch die Anodisierung gewährleistet. Da eine Anodisierung aber eine poröse Beschichtung ist, die durch aggressive Prozessgase oder Reinigungsmedien beeinträchtigt seinkann, liegt hier die funktionelle Schwachstelle der Bauteile.

CE-MAT liefert eine Version dieser ESCs mit einer optimierten Beschichtung. Die Anodisierung ist versiegelt mit Yttriumoxid, einem der thermodynamisch stabilsten Beschichtungsmaterial, welches in der Halbleiterindustrie verwendet wird.

CE-MAT stellt äquivalente ESCs für folgende Partnummern bereit.

Flat Type : 718-094523-261, 718-092326-061, 718-094523-282

Ring Type : 718-094756-061, 718-094756-081

Notch Type : 718-094523-281, 718-092326-081

Snake Type : 718-043893-80

Oxidätzer von Lam Research, z. B. des Tys Rainbow 4520 und Excelan, werden gewöhnlich einer Weiterentwicklung der bipolaren „Donut and Base ESCs“ ausgestattet. Diese ESCs sind aus einem anodisierten Grundkörper aufgebaut, auf welchen eine keramische Waferauflage aufgeklebt ist. Diese Funktionskeramik aus einem speziell dotierten Aluminiumoxid beinhaltet die Elektrode, welche von der Rückseite mit dem Kontaktpin im Grundkörper verbunden ist.

Der Klebespalt zwischen Funktionskeramik und Grundkörper wird im Prozess häufig durch Plasma angegriffen. Partikel durch Kleberreste und technische Probleme durch hohe Heliumleckraten können auftreten.

CE-MAT liefert hier einen Keramik-ESC als technische Lösung, bei welcher kein Klebespalt zwischen Funktionskeramik und Grundkörper mehr vorliegt und somit kein potentieller Angriffspunkt für korrosiven Plasmaangriff. Dieser ESC entspricht maßlich und funktionell dem Original-ESC, so dass keine Prozessänderungen notwendig sind.

CE-MAT stellt äquivalente ESCs für folgende Partnummern bereit.

839-440462-508 / -308

839-440462-108