SPTS-ESCs mit Egde Grip

CE-MAT liefert auch ESCs für SPTS- / Aviza-Kammern von Typ Omega, Rapier und Pegasus. Diese ESCs werden vom OEM üblicherweise mit einem sog. Tripod-Liftingsystem ausgestattet, das eine großzügige Aussparung im Zentrum der keramischen Waferauflage erfordert. Bei sensiblen Produkten, z. B. fragilen Sensoren, kann es aufgrund der resultierenden Uniformityprobleme auf dem Wafer zu Ausbeuteverlusten kommen. Die ESCs von CE-MAT werden im Unterschied zu den OEM-ESCs als Edge Grip Variante ausgeführt. Die Wafer werden hier nur am äußeren Rand berührt und bewegt, die Waferauflage ist homogen. Das komplette Edge Grip Liftingsystem mit ESC wird von CE-MAT bereitgestellt. Während die bipolaren ESCs des OEMs mit ± 5.000 V betrieben werden beträgt die Betriebsspannung der ESCs von CE-MAT nur ± 1.500 V. Wir beraten Sie gerne hinsichtlich der notwendigen Prozessänderungen.

Partikel auf der Waferrückseite bzw. Defekte bei 6“-ESC

Heliumcooling und Partikel auf der Waferrückseite bzw. Defekte bei 8“-ESC