TEL Anlagen mit Kammern des Typs TE-8500 und Unity werden häufig noch mit Polyimid-ESCs betrieben. Die Keramik-ESCs (CESCs) von CE-MAT mit materialtechnisch optimierter Funktionsfläche steigern dabei die Leistungsfähigkeit dieser Kammern im Vergleich zum Einsatz von Polyimid-ESCs erheblich.

Die moderneren Anlagen vom Typ SCCM, DRM und Telius sind mit keramischen ESCs ausgestattet, die aber sehr hochpreisig sind. CE-MAT liefert hier kostengünstige Alternativen, die maßlich perfekt an die bestehenden Einbaubedingungen angepasst sind.

Die folgende Tabelle gibt eine Übersicht über die verfügbaren ESCs:

 

 

Size Model Process Material P/N Remarks
6″ TE-8500 Oxide Polymide 1810-121296-12 New / Repair
8″ TE-8500 Oxide Polymide 1885-022352-17 New / Repair
8″ TE-8500 Oxide Polymide 1810-120900-13 New / Repair
8″ TE-8500 Oxide Polymide 1810-121603-11 New / Repair
8″ TE-8500 Oxide Polymide 1810-121188-11 New / Repair
8″ TE-8500 Oxide Polymide 1810-121189-12 New / Repair
8″ SCCM Oxide AI203 Plate 1810-121880-11 New / Repair
8″ DRM Oxide AI203 Plate 1D85-006979-12 New / Repair
8″ SCCM Oxide AI203 Plate 1810-121880-11 New / Repair
8″ DI(EM) Oxide AI203 Plate New
12″ Telius Poly AI203 Coating 3D87-002056-12 Repair
12″ Telius Oxide AI203 Coating 3D87-003746-12 Repair