Boote für horizontale Ofenprozesse

CE-MAT liefert auch Siliziumboote für alle horizontalen Ofenprozesse. Boote mit 25 der 50 Waferslots für 150 – 300 mm Wafer sind verfügbar.

Kundenwünsche bzgl. Slotdesign und –anzahl können umgesetzt und an die spezifischen Kundenprozesse angepasst werden.

Ein weiteres Produkt für Horizontalöfen sind Intermediate Carrier. Ein Träger aus Silizium für SiC Boote.

Hier ist der entscheidende Vorteil die Lieferzeit (Wochen anstatt Monate)

CE-MAT liefert zudem Short Finger Boote als Spezialboote mit herausnehmbaren Waferhalterungen. Durch die Möglichkeit des Austauschs einzelner Auflagesicheln wird ein enormes Kosteneinsparungspotential generiert. Zudem sind variable Anordungen der Sicheln möglich.