Ersatzteile (Consumables für Etch-, CVD- und PVD-Prozesse)

Die Anforderungen der Halbleiterindustrie an die Qualität der Ersatzteile für die entsprechenden Fertigungsanlagen nehmen stetig zu. Dabei erfordern die unterschiedlichen Prozesse und Anwendungsbereiche dieser Ersatzteile spezielle Werkstoffe sowie einen hohes Maß an Präzision und Reinheit. Insbesondere in Plasmaätzprozessen aber auch in Beschichtungsprozessen (CVD, PVD) sowie in Nassätzprozessen sind diese Bauteile einer aggressiven und korrosiven Umgebung ausgesetzt.

Trotz dieser Einsatzbedingungen dürfen die Bauteile keine Kontaminationen oder Partikel generieren und müssen gleichzeitig eine hinreichend lange Standzeit im Prozess haben, um die Aufwendungen für Maintenance und Ersatzteilbedarf in wirtschaftlichen Grenzen zu halten. CE-MAT besitzt das prozessspezifische Know-how für die richtige Materialauswahl und die Herstellung der entsprechenden Bauteile.

CE-MAT liefert Bauteile aus folgenden Werkstoffen:

  • Quarzglas (geschmolzenen oder synthetisch in Verschiedenen Qualitäten)
  • Silizium (Monokristallin, Multikristallin und Quasimonokristallin)
  • Einkristallsilizium (Waferadapter)
  • Keramik (Oxidkeramik, Nichtoxidkeramik)
  • CVD-SiC (Waferdummies)
  • Andere Materialien auf Anfrage