Spezialboote aus Silizium
CE-MAT liefert zudem Spezialboote mit herausnehmbaren Waferhalterungen.
Die Boote bestehen aus einem Grundkörper mit passgenauen Aufnahmen für die einzelnen Waferhalterungen. Es ist möglich einzelne Halterungen bei Beschädigungen oder Änderung des Designs auszutauschen.
Normalerweise werden solche Boote aus Quarzglas gefertigt. Hier ist es nicht möglich die einzelnen Waferhalterungen auszutauschen da sie mit dem Grundkörper des Bootes fest verschweißt sind.
Bei einer Beschädigung des Quarzbootes ist eine Reparatur sehr kostenintensiv oder unter Umständen gar nicht möglich.
Das Spezialboot aus Silizium hat durch die Austauschmöglichkeit einen enormen Kostenvorteil gegenüber der herkömmlichen Lösung in Quarzglas.
