Die herkömmlichen Materialien, welche bei Ofenprozessen zum Einsatz kommen sind entweder Quarzglas oder Siliziumkarbid.
Während Quarzglas bei moderaten Temperaturen bis ca. 950°C zum Einsatz kommt, wird bei höheren Temperaturen fast ausschließlich Siliziumkarbid eingesetzt.
Beide Materialien haben aber einen entscheidenden Nachteil: durch die zum Siliziumwafer unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten kann es während des Prozessieren, vor allem bei direktem Kontakt zwischen dem Waferhalter und dem Siliziumwafer, zu teilweise gravierenden Defekten auf dem Wafer kommen. Beispiele sind Rückseitenkratzer und daraus folgend Partikel, Versetzungen sowie punktuelle Deformierungen.
Durch den Einsatz von Silizium als Trägerwerkstoff wird dieser negative Einfluss um mehrere Größenordnungen verringert.
CE-MAT bietet Ihnen Boote für vertikale und horizontale Ofenprozesse, speziell designte Boote mit herausnehmbaren Waferhalterungen, sowie Prozessrohre aus Silizium.
