ESC-Herstellung

Die Produktion der CESCs von CE-MAT erfolgt als Einzelfertigung mittels hochpräziser CNC-Fertigung, Anodisierung und Keramikbeschichtung sowie deren mechanische Nachbearbeitung nach Halbleiterstandard. Für die Herstellung der CESCs von CE-MAT werden ausschließlich hochreine Materialien verwendet, welche in der Halbleiterindustrie qualifiziert sind.

Die ESCs für Prozesskammern von AMAT, Lam Research und TEL werden so gefertigt, dass sie perfekt an die OEM Kathoden und Bases angepasst sind, so dass elektrische Ankopplung und die Gasversorgung sowie die Kühlung der ESC-Grundkörper gewährleistet sind. Hervorragende Processperformance und Lebensdauer der Bauteile sind sichergestellt. Eine maßliche Kontrolle sowie ein Funktionstest unter prozessnahen Bedingen der CESCs als 100 % Prüfung stellt die Qualität der Bauteile sicher.