Teile aus Silizium
für Ofenprozesse
Siliziumboote (horizontal/ vertikal) und Siliziumrohre (Liner)
Keramische ESCs
(Electrostatic chucks)
ESCs für AMAT, TEL, Lam Research und SPTS-Tools
Ersatzteile für die
Ionenimplantation
Molybdän, Wolfram, Graphit, Keramik – Bauteile für Anlagen von Axcelis, Varian und AMAT
Vertrieb von O-Ringen
O-Ring Dichtungen, Zentrierringe, Slit Valve Doors, Komponenten für Waferhandler, Lip seals, Kundenspezifische Dichtungen
Wafer Inspektions
Tools
Inspektion von Defekten in Wafern mittels sichtbaren Licht, Infrarot und Photolumineszenz
